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擴散硅壓力傳感器是制造壓力傳感器和變送器的核心部件。以南京沃天擴散硅壓力芯為例,說一下擴散硅壓力傳感器的內部結構。
擴散硅壓力傳感器由補償板、鋼球、底座、O型圈、芯片、陶瓷墊、膜片、壓力環、硅油等組成。在圖中的結構中,每個部分都有相應的作用和特點:
擴散硅壓力傳感器的內部結構組成部分:
1.補償板:信號放大
2.鋼球:密封油
3.底座:壓力傳感器的載體
4.O型圈:密封
5.芯片:感到壓力
6.陶瓷墊:填充
7.隔膜:接觸液體或氣體進行測量
8.壓環:將膜片焊接到底座上
9.硅油:傳導壓力